微纳米光学的重要特征是光学结构和器件的特征尺度在微纳米量级，是微纳米技术与微电子、激光、光电子、通信等多学科交叉而迅速发展起来的一门科学。微纳米光电元件和系统在发展上最重要的优势，除了具备体积微型化、重量超轻、集成化、规模化和低成本外，更值得注意的是可以通过微纳光学制造技术，预先能够将光学和电子器件之间的相对位置精确定位，无需再进行非常麻烦和耗时的调整对准，系统的稳定性和可靠性得到非常大的提高。另外，微纳米光学系统可以非常方便地与其他功能的光电系统进行融合、集成和组合，会产生更为广阔的应用和发展。

之前翻译出版的《微光学》和《微光机电系统》(国防工业出版社)，都偏重于微纳米光学的理论研究和设计，而不容忽视的是，微纳米光学制造技术正是实现微纳米光学研究成果产业化，从实验室走向实际应用的关键技术。

微纳米光学制造技术基本上朝着两个方向发展:一是寻求更简单便宜的微纳米结构生产方法，即在非极限环境条件下大面积生产微纳米结构的复制技术，包括纳米印制技术、纳米压模技术、软光刻技术和微接触印制技术。其研究方式不是利用光学和电子等物理学工具，而是应用日常生活中所熟悉的机械过程。二是应用物理、化学或生物方法制作均匀性很好、有特殊功能的微纳米颗粒或系统，例如用原子、分子束外延方法生长半导体量子点阵等。……