刘金鑫

（沾化明珠化工有限公司，山东滨州256800）

三氯氢硅，又称硅仿、三氯硅烷、硅氯仿，常温常压下为具有刺激性恶性臭、易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成 SiO2、HCl和 Cl2；沸点 31.8℃。 遇水极易分解，溶于二硫化碳、氯仿、苯等，广泛用于有机硅烷和烷基、芳基及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂的基础原料，也是生产半导体硅、单晶硅的主要原料。

1 三氯氢硅生产工艺简介

工艺流程简图见图1。

山东齐泉硅业有限公司（以下简称齐泉硅业）三氯氢硅生产工艺过程为，来自上游企业的氯化氢气体在液环式压缩机的抽力作用下，进入深冷脱水装置脱水后，经孟莫克捕集器，进入氯化氢压缩机进行压缩，进一步干燥处理后进入氯化氢缓冲罐，经金属转子流量计进入三氯氢硅合成炉与经干燥器干燥后的高温硅粉进行反应。生成的气体依次通过旋风分离器、存渣罐、两级布袋过滤器、空气冷却器、水冷却器、两级深冷冷凝器、-35℃盐水冷凝器冷凝，大部分氯硅烷在膜压机前先冷凝下来，进入机前计量罐，未冷凝的少量氯硅烷、氯化氢和氢气进入隔膜压缩机加压，再经机后水冷凝器、-35℃盐水冷凝器冷凝，液体经机后计量罐计量后进入中间产品罐，不凝气体送尾气变压吸附回收系统回收微量的三氯氢硅和氯化氢，氢气回收至氯化氢合成炉回收利用。中间罐中的三氯氢硅、四氯化硅混合液，借用隔膜压缩机的压力，经电磁浮子流量计计量后，进入加压三级精馏塔进行精馏分离，生成合格的三氯氢硅进入三氯氢硅成品罐。……