丁 铁，刘清惓，张加宏

(南京信息工程大学电子与信息工程学院，南京 210044)

云水含量测量传感器广泛应用于人工降雨、云物理研究等领域。例如在人工降雨的工作中，云中过冷水滴要经过成冰过程转换为降雨水滴。一般情况下，决定被作业的冷云降雨的重要条件在于云中是否有足够的过冷水滴存在［1－2］，因此如何测量云中液态水含量对于气象研究和业务应用是有较为重要的意义。目前主流的云水含量测量方法主要有光学测量法、微波测量法和热线仪测量法等。光学测量方法，一般在风洞中进行测试，但是由于受到其设备体积和测量环境限制，很难安装在中小型风洞中，成本较大。微波测量方法，它能够长时间、高分辨率、高精度探测和可无人监察的连续工作，但是由于其测量微弱信号的能力较低，不能完成具体部位具体云层含水量的测量［3］。热线仪测量方法，传统热线仪传感器由于受到其体积的限制，会造成云中大水滴在热线上来不及全部蒸发而流失，使测量结果偏低［4］，并不能完成强对流天气下的测量作业。譬如美国SEA 公司生产的J－W 云水含量传感器，量程为0～3 g/m3，需要由有人驾驶飞机搭载，且功耗达到数百瓦［5］。随着技术的发展，云水含量传感器逐渐向小型化、集成化发展，将成为该领域技术发展的趋势。本文提出的微型云水含量传感器采用了独特的结构和加工工艺，使其具备体积小、功耗低、重量轻等特点，而且制造工艺相对简单，便于与其它器件集成，成本较低。……