陈振生，王 月，张玉林，李长青

（1.山东凯文科技职业学院 电工电子实训中心，山东 济南 250200；2.山东大学 控制科学与工程学院，山东 济南 250061）

电子束曝光机在曝光制版工作中，有一个把电子束斑和电子束流调整到最佳配合的重要工作环节[1]。这就要求随时不断地测量束斑和束流，根据实测数据与束斑和束流最佳配合数据相比较的结果，通过自动调整曝光机相关工作部件参数，实现束斑和束流的最佳配合。长期的曝光机运行实验表明，在束斑和束流的测量过程中，存在严重的环境干扰信号，并且低频干扰远强于高频干扰，而低频干扰的主体又是工频电压干扰。亚微米电子束曝光机的束流在纳安级，如此小的束流测量不消除干扰是无法得到准确测量的。束流得不到准确测量也就谈不上把束斑和束流调整到最佳。为此除了对工作室电子设备环境布局进行防干扰设计外，专门研制了一种其中心频率能自动线性跟踪工频频率的工频陷波器，把它串联在束流测量电路中，大大提高了束流的测量准确度，保证了束斑和束流的最佳配合，为电子束曝光机性能指标的提高提供了重要的工作基础。

1 陷波器的工作原理分析

自动跟踪工频陷波器的原理框图如图1所示。压控带通滤波器的通带增益为1，其中心频率受控于控制电压VC。减法器的增益系数为1。压控带通滤波器和减法器构成压控带阻滤波器，其控制电压就是带通滤波器的控制电压VC。……