陈特超，谢建国，李 克，毛朝斌

(中国电子科技集团公司第四十八研究所，湖南长沙410111)

太阳能电池属绿色能源产品，太阳能作为可 再生资源，它是解决当前全球能源枯竭和环境污染问题的重要途径之一[1]。太阳能电池具有许多其他发电方式所不具备的优点：不消耗燃料、不受地域限制、规模可灵活组合、无污染、无噪音、安全可靠、维护简单、建设周期短、最具有大规模应用可能性[2]。近几年来，各国也都在不断加大太阳能应用的投资力度，各大太阳能电池生产公司也都争先恐后地开发太阳能电池工艺新技术，旨在提高电池转换效率，争抢太阳能发电市场。

在太阳能电池生产线中，工艺设备固然重要，它直接影响转换效率，但外围设施的配置也不可忽视。生产线上所有工艺设备正常运行时都需要外部提供一定的条件，这些条件的制造单元统称为外围设施，包括设备、管道等。它的好坏直接影响整线生产的正常、稳定运行，甚至影响电池转换效率。如扩散炉中尾气排放是靠外围设备的有机排风抽出的，如果管路走向不合理，抽风机排量选择不够大，施工、安装不到位，将会造成抽速的波动，直接影响扩散后硅片的方块电阻值。因此，外围设施设计、施工质量至关重要。

1 太阳能电池线工艺流程及对外围设施的需求

目前晶体硅太阳电池生产工艺流程如图1所示。

图1 晶体硅太阳电池生产工艺流程

根据工艺要求，以上的每道工序，所需外围设施配套供应条件见表1。……