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公司与新品介绍

2012-07-04

电子工业专用设备 2012年5期
关键词:设备

EDWARDS成为450mm晶圆制造设备联盟(F450C)的创始成员

联盟的成立是为了引导450mm 晶圆制造厂的建设和基础设施。

精密真空产品和尾气处理系统领先制造商及相关增值服务全球供应商Edwards 集团有限公司最近加入了一个由全球十家半导体设备公司组成,旨在组建450 mm 晶圆制造设备联盟(F450C)的工作组。这是全球450 联盟(G450C)的一个分小组,其建立是为了解决下一代450 mm 半导体晶圆制造设施的复杂开发和基础设施要求。

F450C 办公地点位于纽约州立大学阿尔巴尼分校的纳米科学和工程学院(CNSE),其成立是为了开发必要的关键设备技术,以确定有竞争力的设备解决方案,从而使450 mm 晶圆制造得以实现。Edwards 是联盟中唯一一家代表真空和尾气处理设备的公司,这体现了Edwards 公司在半导体行业以及其他广泛应用中的长期经验和技术领先地位。

G450C 主要为450 mm 制造设备和工艺技术提供指导,而F450C 的目标则是开发向450 mm晶圆制造过渡过程中必不可少的配套设备和基础设施方案。这些方案可以解决更多超出450 mm晶圆生产带来的制造难题,因为下一代制造工厂带来了设施设计、基板处理、工具连接、化学品分送、水和电气系统以及许多其它领域的新挑战。

2013年6月28日,纽约州州长Andrew M.Cuomo 宣布,F450C 在纽约州立大学纳米科学和工程学院(CNSE)的成立带来500 多万美元的新私人投资,并创造了多达150 个高科技工作岗位。更多资讯,请参看新闻稿http://bit.ly/11Sj69S。

EDWARDS公司IPUP2真空泵创立加载互锁和输送腔体应用新标准

精密真空产品和尾气处理系统领先制造商和相关增值服务领先供应商Edwards 集团有限公司已经推出了针对应用材料公司制造平台的加载互锁和输送腔体应用的全新集成式真空泵IPUP2。……

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