柳国光，苗俊芳，胡文平，师筱娜

(中国电子科技集团公司第二研究所山西太原030024)

完成一次清洗工艺，传统的溶液溶解方法会产生几升甚至几十升的污染液，而采用相应的等离子清洗工艺，则只产生约0.5 g携带污染物的气体。尽管环境友好性突出，但缓慢的清洗速度使得等离子清洗通常仅作为溶液清洗后的最后一道清洗来获得理想的表面清洁度，对减少工业清洗中产生的污染并没有多大作用。因此，为了使等离子清洗技术成为减少污染的有效手段，必须大幅度提高等离子清洗速度，以实现替代工业清洗中的溶液清洗环节，减少污染物的排放。

1 清洗原理和影响清洗效果的主要因素

1.1 原理及实现方法

等离子清洗是依靠特定物质等离子体中的高能粒子流冲击需要清洁的物体表面，产生物理冲击（如氩等离子体）或化学反应（氧等离子体）来实现去除物体表面污渍的功能。目前，大多数等离子清洗系统通过降低反应仓的压力到100 Pa以下，然后以一定的速度通入合适的气体并启动电源来获得等离子体。

1.2 影响清洗效果的主要因素

1.2.1 电极对等离子清洗效果影响

电极的设计对等离子清洗效果有着显著的影响，主要包括电极的材料、布局和尺寸等因素。对于内电极等离子清洗系统，由于电极暴露在等离子体中，某些材料的电极会被一些等离子体刻蚀或发生溅射现象，造成不必要的污染并导致电极尺寸的变动，进而影响等离子清洗系统的稳定性。……