陈 卓，严剑荫

(无锡中微掩模电子有限公司，江苏无锡214035)

1 清洗机简介

掩模清洗是掩模生产过程中的重要工序，尤其对于高阶掩模，最终清洗设备更是提供客户零缺陷产品的关键设备。

Akrion清洗机由美国Akrion公司生产，是用于5～7英寸BIM及PSM掩模的去胶及最终清洗的全自动设备。此系统共设置7个清洗槽（Tank），分别承担了SPM、APM、QDR、DIO3和LuCID Dry，根据不同的工艺需求设置了相应的酸、碱、纯水、臭氧和氮气加热控制单元。整个系统采用计算机及可编程模块实现全自动监测与控制。

2 计算机及Genius I/O控制系统

Genius I/O美国GE公司的可编程控制产品（见图1）。是连接清洗机与计算机之间的一个I/O，是发送和接收总线来的信息的智能单元，用于监控清洗机工作。有以下几部分组成：通讯总线；PCIM卡；Genius I/O模块；手持监控器（HHM）。通讯总线通过三线电缆（一屏蔽线）进行数据传送，所有总线上的模块唯一编址，每个总线通道可编32个地址（0-31），共有两个通道。手持监控器（HHM）可连接到任意一个I/O模块上监控设备工作状态。清洗机的机械运动、超声清洗、臭氧等是通过计算机串口控制，本文不讨论。

整个总线串行连接最后一个模块有一个终结电阻（见图 2）。

图1 Genius I/O控制系统

图2 总线连接图

I/O模块在总线中传递一个令牌，令牌在地址0到地址31中按顺序传递，这个传递顺序叫总线扫描。

输入的模块连续的监视从它的输入设备来的数据并更新它的通讯数据。当模块拿到总线的令牌时，它会广播它所有当前的输入数据。总线控制器保存这个数据，将它转换为CPU可用的数据。……