计时鸣，唐 波，谭大鹏，李 军，翁晓星，晓风清

(浙江工业大学 特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室，杭州 310014)

模具行腔表面的复杂性和无规则性，给精密模具微细结构部件制造带来极大的困难和挑战。在模具制造过程中，为了消除模具表面所残留的机械加工痕迹，光整加工技术成为必要的工艺环节，占整个模具制造时间的50%以上。现有方法一般需借助工具接触或靠近待加工表面进行加工［1-2］。在光学元件加工领域，将凹槽、棱柱、棱镜阵列等立体结构的表面称为结构化表面［3-4］，借此也将模具中沟、槽、孔、棱柱、棱锥、窄缝等复杂异型面统一称为结构化表面。基于工具接触加工机理的光整加工方法难以应用于模具结构化表面的精密加工，因此，模具结构化表面的精密加工成为亟待解决的技术难题，文献［5］提出了一种基于软性磨粒流的模具结构化表面无工具精密光整加工新方法。

由于流体磨料的流动性，特别适用于加工异形曲面、窄缝和小孔等常规方法难以加工的表面。磨粒流加工可用于航空、汽车、模具、液压和医疗等行业［6］。磨粒流加工工艺能提供高质量的加工表面和获得闭合型公差［7］。松散磨粒与液体混合，可构成液固两相软性磨粒流(即弱黏性或无黏性液固两相磨粒流)，磨粒流的流体性质决定其可变化无形且无孔不入。因此，基于软性磨粒流形成了一些表面加工方法，由于软性磨粒流可形成良好仿形接触，因而在曲面和异型面加工中体现出优势［8］。……