胥 飞， Md Shehadul Islam

（1.上海电机学院 电气学院，上海 200240；2.加拿大麦克马斯特大学 机械工程系，加拿大 哈密尔顿 L8S4L8）

基于微流控芯片的液体电导测量

胥 飞1， Md Shehadul Islam2

（1.上海电机学院 电气学院，上海 200240；2.加拿大麦克马斯特大学 机械工程系，加拿大 哈密尔顿 L8S4L8）

在传统微流控芯片制作方法的基础上，利用电化学腐蚀来制作电导式微流控芯片。对浓度分别为21.0%、28.1%、37.5%、50%的聚苯乙烯溶于去离子水的微粒混悬液进行实验测量，实验表明，该芯片测量与理论基本符合，芯片适用于液体溶液的阻抗测量。

微流控芯片；电导；光刻；二甲基硅氧烷

在电工、化工、生物医学等诸多领域都需要对液体试样的电导进行测量［1－3］。通常的测量需要较大的测量装置和试样，而随着微流体技术的发展，电导式微流控芯片为液体电导测量提供了新的选择。

微流控芯片是指通过微细加工技术将微细通道、微小储液器、微小电极、微小驱动器、微小光电压力电压等传感器及其他功能模块像集成电路一样制作在一块几平方厘米的玻璃、硅片或聚合物上，使其具有生物或化学等领域所涉及的样品制备、生物化学反应、分离、检测等基本操作单元，具备完整分析功能的器件，也称为微全分析系统（Micro Total Analysis System，μ－TAS）［4－6］。

电导式微流控芯片特指可以将待测试样连接电导测量设备，控制进样、电导测量，对样品进行分析、分离等操作的芯片。通常，电导式微流控芯片在片上构建电导测量所需的电极及连线、微细通道、微小储液器、微小驱动器等部件。……