周志刚，周春红，胡木林

(华中科技大学纳米材料与智能传感器实验室，武汉430074)

金属氧化物半导体(MOS)气敏传感器由于高敏感度、成本低、响应/恢复时间短、可测量气体种类多等诸多优点而被广泛应用于食品安全、易燃易爆以及污染气体的检测［1－4］。MOS气敏传感器的性能由敏感材料自身的微观结构和制备器件的工艺共同决定［1，5］。随着制备技术的成熟，不同表面形态和各种结构的气敏材料被成功制备。然而在传感器的制备上，大多通过超声分散气敏材料然后涂敷在电极之间或者直接在电极之间生长气敏材料的方法制备气敏传感器［6－9］。简言之，这些工艺要么涉及一系列不可控的过程要么对设备的要求很高。这就要求在气敏传感器的制备中，不能忽视对传感器制备工艺的研究。丝网印刷工艺由于操作简单、成本低、重复性能好等优点而受到广泛的应用［10－11］。其中气敏浆料的制备是丝网印刷工艺中一道重要的工序。气敏浆料的好坏直接决定印刷的精度和膜层的质量，进而影响传感器的气敏性能［12］。因此，气敏浆料制备过程中粘度、触变性等性能控制和研究，对气敏传感器的制备具有至关重要的作用。

浆料一般由有机载体、功能相、玻璃相组成。Vircelle通过改变玻璃相制备了三种不同的SnO2气敏浆料，证明玻璃相对简化制备工艺、提高膜与基片的结合力、增加气敏膜的导电性和气敏性能具有重要影响［13］。Yang认为PVA、Al2O3等作为玻璃相对WO3的气敏性能影响主要是改变导带的性质而并非是颗粒的大小和电子的浓度［14］。……