孙 亮，王亚楠，徐秀峰

（烟台大学 应用催化研究所，山东 烟台 264005)

环境与化工

NF3在Co-Al复合氧化物上的分解反应

孙 亮，王亚楠，徐秀峰

（烟台大学 应用催化研究所，山东 烟台 264005)

采用共沉淀法制备了n（Co)∶n（Al)=0.1～4.0的Co－Al复合氢氧化物，再经焙烧得到Co－Al复合氧化物，对Co－Al复合氧化物进行了XRD和N2吸附－脱附表征。在固定床反应器中，在无水条件下考察了Co－Al复合氧化物的脱氟活性。实验结果表明，随n（Co)∶n（Al)的增大，Co－Al复合氧化物的比表面积和孔体积减小;当n（Co)∶n（Al)=0.1时，Co－Al复合氧化物具有较大的比表面积和孔体积;随n（Co)∶n（Al)的减小，Co－Al复合氧化物的脱氟活性逐渐提高，NF3全转化时间逐渐延长，脱氟反应速率受扩散控制;脱氟反应后，Co－Al复合氧化物转化为CoF2和AlF3。

三氟化氮;分解反应;钴－铝复合氧化物;脱氟剂

NF3是近年来电子工业使用的一种新型蚀刻气体，比CF4有更高的蚀刻速率和选择性。随着电子工业的大规模发展，其需求量和排放量日益增加，据报道2005 年全球 NF3产量达4 000 t［1］。NF3分子的温室效应潜值为 17 200，大气寿命约 740 a［2］，在2008年召开的联合国环境大会上，NF3被列为限制排放的温室气体。因此，将工业过程产生的NF3废气先分解再排放是一项十分必要和有意义的工作。

近年来，研究人员尝试了多种消除NF3废气的方法，如催化水解法，即在催化剂的作用下，NF3与水反应生成NOx和HF，该反应温度较低，条件温和，但产物HF对反应器有强腐蚀性［3－4］。无水条件下NF3与金属氧化物直接反应生成金属氟化物同时将NF3分解，这种方法对反应器无腐蚀作用，操作简单。在该反应中金属氧化物为脱氟剂。……