陈 诚，裘祖荣，李醒飞，朱 嘉，向红标，谭文斌，赵成顺

θFXZ型测量机力变形误差分析

陈 诚，裘祖荣，李醒飞，朱 嘉，向红标，谭文斌，赵成顺

(天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津 300072)

根据某θFXZ型特定结构测量机，研究其静力及动力变形误差的系统分析方法．在建立测量机非刚体数学模型的基础上，求解测量机由于力变形带来的测量误差值，并用激光干涉仪对测量机静力及动力状态下的误差分别进行了测量．利用所建立的数学模型对测量机存在的静力变形带来的测量误差进行补偿，使立柱在水平方向的偏摆带来的最大测量误差由补偿前的10.2.μm减小到1.0,μm．实验得到的动力状态变形结果可以用于测量机力变形误差补偿技术的进一步研究．

坐标测量机；力变形误差；非刚体模型；误差补偿

随着工业生产的发展，对坐标测量机的精度提出了越来越高的要求．单纯依靠提高测量机制作工艺、使用新材料来提高测量机精度，即使能够实现其目标，经济成本也会很高，因此误差补偿技术作为提高坐标测量精度的一个重要手段，得到了越来越广泛的应用[1]．在研究测量机误差补偿的关键技术之前，分析其力变形引起的误差是一个重要环节．

坐标测量机实际结构和材料的特性使得测量机不可避免地存在静力和动力加速度引起的力变形误差[1-3]．影响测量机力变形误差的主要因素有：①测量机各个部件存在相对运动时，其重力作用的变化使构件发生变形；……