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液化空气集团在中国签订高纯载气合同

2014-04-08

上海化工 2014年1期
关键词:载气集成电路氮气

液化空气集团在中国签订高纯载气合同

液化空气集团最近与中芯国际集成电路制造有限公司(中芯国际)签署了一项重要的长期合同,为其位于北京的最先进的晶圆工厂提供高纯载气,该厂将为中国和国际市场制造用于消费电子和移动设备的先进的集成电路。中芯国际北京B2工厂将于2014年年初开始运营,将采用28 nm先进技术生产300mm晶圆。

为满足该客户的需求,液化空气集团将投资建造一个大型的高纯氮气现场制气装置。氮气与电子特气和前驱体均是生产工艺中必需的气体分子,确保符合严格的清洁度要求,以及保障生产设备的安全运行。液化空气集团还将投资建造必要的大宗气体供应的基础设施。该项投资总额将达1 800万欧元。

中芯国际成立于2000年,是中国最大、全球第四大的集成电路晶圆代工企业。液化空气集团和中芯国际早在2001年便建立了长期合作关系,为其在上海、北京、天津和深圳的工厂提供电子特气。

中芯国际首席执行官邱慈云表示:“我们很高兴与液化空气在北京达成新的长期合作伙伴关系。液化空气非常了解我们的需求,并提供了具有竞争力的解决方案。归功于其全球经验、技术和卓越的运营管理,我们将获益于其安全、可靠和高效节能的工业气体供应。”

液化空气集团是全球领先的工业、健康和环保气体供应商,业务遍及80个国家,员工近50 000人。2012年,集团的销售额达153亿欧元,其中近82%来自法国之外的业务。

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