符慧能，花 奇，钟广超

(湖南红太阳光电科技有限公司，长沙 410000)

0 引言

近年来，随着太阳能级硅片技术的进步及光伏发电面临的平价上网成本压力，光伏组件技术有向大尺寸、高功率密度方向发展的趋势[1]。大尺寸硅片在成本和光电转换效率上具备明显优势，可帮助下游的太阳电池、光伏组件、光伏电站等环节实现增效降本。随着大尺寸硅片成为提升光伏组件输出功率的最有效方案之一，与其相关的太阳电池生产设备也需要配套升级。

在太阳电池制备的钝化工序中，会使用到管式等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备，利用大尺寸硅片制备太阳电池意味着需采用具有大管径炉管的PECVD设备(下文简称为“大管径PECVD设备”)，炉管加热时则需要匹配更大功率，导致单台PECVD设备加热时的理论最大功率增加了30%左右。但考虑到成本，大部分太阳电池生产车间的厂务供能指标并未相应增大，导致采用大管径PECVD设备加热时的功率无法满足需求。因此，如何解决大管径PECVD设备大功率下的供电矛盾成为设备升级的一大难题。基于此，本文以大管径6管PECVD设备(即6个炉管6个温区)为例，通过利用控制系统实时监测各炉管的工艺过程状态、加热功率输出需求等数据，根据每个炉管温度对该炉管工艺的影响程度，智能调控各炉管各温区的加热功率输出上限，以确保设备总功率保持在最大允许功率之内。

1 设备总功率调节需求

PECVD是在硅片表面镀制减反射膜时主要采用的技术。……