蔡海蕊*，白满社，熊来飞，翟 亮，夏 晋，杨生春*

（1.西安交通大学物质非平衡合成与调控教育部重点实验室，陕西 西安；2.航空工业西安飞行自动控制研究所，陕西 西安）

激光陀螺作为惯性导航系统的核心部件，广泛地应用于陆海空天多个领域，现已成为衡量一个国家光学技术发展水平的重要标志之一。目前，激光陀螺已经成为船舶、潜艇、卫星以及飞行器的惯性导航系统的重要传感器。因此，设计和发展高性能、长寿命、高稳定性的激光陀螺，对促进我国航海、航空航天等国防军工领域的发展具有重大的意义。组成激光陀螺的元器件主要包括腔体、反射镜、电极等，其中反射镜部件长期暴露在激光/紫外线辐照、等离子体轰击、高温等外部环境条件下，因此反射镜的性能严重退化已经成为制约激光陀螺系统发展和应用“瓶颈”问题之一[1-3]。

目前，由于制备、抛光、激光辐照及等离子体放电、高低温等外部工作条件作用过程中，膜层结构演化产生了纳米尺度的晶粒或颗粒聚集体等损伤，被认为是造成反射镜性能衰退的主要原因之一[3]。此外，Itoh 等从反射镜表面的能量吸收角度分析，由于表面膜层吸收的能量集中，且主要分布在薄膜层部位，因此造成镜面膜层的高温损伤，也是造成反射镜性能衰退的重要因素[4]。齐文宗等从热传导方程出发，采用格林函数法和有限元分析法，计算了硅和石英两种基底材料多层膜红外连续激光反射镜的最大温升、形变及热应力等。……