谢知寒，王 勇，王 震

（1.国网浙江省电力有限公司双创中心，浙江杭州 310051；2.国网浙江省电力有限公司舟山供电公司，浙江舟山 316021）

测压传感器是一种全面型的压力信号输出器件，能够在准确感知压量值水平的同时，分析压量信息的实时转化能力。在实际应用过程中，测压传感器通常由信号处理单元、压力敏感元件两部分共同组成。其中，信号处理单元负责感知压力信号所处作用位置，并可将高等级的压力信号参量转换成低等级的信号输出状态[1]；压力敏感元件是阻值水平较高的物理电阻，能够负担较高的压强作用力，并可在确保不发生击穿作用的前提下，将这些输入信号反馈至既定硬件设备结构体中[2]。

压敏荧光涂层能够根据作用压力的不同，表现出不同的形变状态，由于所采用涂料始终保持荧光状态，所以其形变趋势表现得极为明显。在电网环境中，压敏荧光涂层过厚，会导致电量信号输出行为受到影响，并最终使传感器元件的灵敏测压能力不断下降[3]。传统MEMS 传感器测量系统主要通过分离压力信号的方式，确定传输电压的实际数值水平，再根据电流表的具体示数水平，确定当前状态下压敏荧光涂层的厚度水平[4]。而由于电量误差的存在，传统测量系统并不能完全保障传感器元件的灵敏测压能力，使压敏荧光涂层厚度水平始终难以保持在理想数值区间内。为解决上述问题，设计新型压敏荧光涂层测压传感器灵敏系数标定系统。……