褚文超 贾建忠 牛佳荣

（乌兰察布电业局 内蒙古自治区乌兰察布市 012000）

当前配电站向智能化方向发展，基于Mems的配电站智能化电力监控系统设计按照人本思路，为确保配电站安全可靠运行创造基础条件。本文分析电气设备智能化可能性，得出微电气设备特点。

1 Mems可靠性测试电学测量系统研究

电学测量是利用电子技术测量方式，由于电子技术频率范围广等优点，迅速应用于国民经济各领域。电学测量内容广泛，包括点能量测量，信号特性测量等方面。电学测量具有测量准确度高，测量频率范围广，易于实现遥测等特点。电学测量广泛应用于天文观测、复杂生命细胞遗传及工农业生产等各领域。目前电子测量设备在性能、工艺结构等方面取得很大进展，生产向系统化、高性能等方向发展。

1.1 Mems器件主要失效模式

Mems技术在工业中应用对各领域产生重大影响。可靠性是产品规定条件下完成功能能力，规定时间是保证时间，可靠性研究在产品研发设计中占据重要地位。产品可靠性特点体现在与规定时间功能密切相关。Mems器件可靠性困难，由于Mems设计加工根据用户要求进行，可以建立通用的方法对失效器件进行量化评估分析，Mems失效模式包括断裂屈服，磨损蠕变、粒子污染等。断裂失效是构件在荷载下无明显破坏前兆发生突然破坏现象，常见断裂失效类型分为突然与疲劳断裂。塑性材料随着荷载增加应变增大，应变增加现象称为屈服。……