韩玉朝 孔令甲 李德才

（中国电子科技集团公司第十三研究所 河北省石家庄市 050051）

随着微波毫米波技术在无线通讯、安检成像以及雷达系统中应用的逐渐增多, 低成本、高可靠性的微波毫米波单片集成电路（MMIC） 的使用也日趋广泛，而电磁波往往需要在不同形式、材料的介质中传播，因此波的转换过渡显得尤为重要。矩形波导因其损耗小、性能优的特点，在毫米波技术中的应用十分普遍，微带线则是毫米波集成电路中非常重要的传输形式，所以微带转波导结构在毫米波领域是一种非常重要的过渡结构，广泛的应用于毫米波产品的输入、输出端口，其性能直接影响整个毫米波器件性能的优劣，在毫米波器件设计过程中必须着重考虑。这就要求在使用集成芯片的微波系统中寻找一种低损耗、低成本、易加工制作的微带转波导结构，这些结构需要在不同的特性阻抗之间完成阻抗变换，使电磁波能够有效、可靠的传输。

关于微带转波导结构的研究已经广泛存在，目前工程上主要应用的微带转波导结构有三种：阶梯加脊波导过渡结构、对极鳍线过渡结构和耦合探针过渡结构，其中阶梯加脊波导过渡结构相对复杂，加工成本贵且精度要求较高；耦合探针过渡结构是采用陶瓷或石英等介质作为E 面探针耦合波导腔内的微波信号，再通过键合、焊接等方式进行信号传输，这种结构比较简单，价格相对低廉，故在目前工程中的使用较为普遍，但在毫米波频段应用时存在其固有的劣势，在工艺装配操作上相对复杂，定位精度要求较高，工艺控制难度大，且集成度低，装配一致性差，甚至会导致毫米波信号传输不正常。……