赵 川 ，孙 凤 ，裴文哲 ，金俊杰 ，徐方超 ，张晓友 ,2

（1.沈阳工业大学机械工程学院，辽宁 沈阳 110870；2.日本工业大学机械工学院，日本 埼玉 345-8501）

随着精密加工与半导体技术的发展，加工制造对效率、精度和洁净度的要求日益提高.磁悬浮技术具有响应快、精度高、清洁无污染等特点，为多个行业提供了新的解决方案，典型应用如磁悬浮轴承[1-2]、磁悬浮列车[3]、磁悬浮平面电机[4]等.目前，应用较多的是电磁悬浮技术，维持平衡需要持续输入电流以克服重力.因此，电磁悬浮装置连续运行时存在线圈发热及能耗高的现象.

我国稀土永磁材料发展迅速，具有发展永磁悬浮技术的天然优势.永磁悬浮技术利用永磁体提供磁力实现无接触支撑，具有低能耗的显著特点.我国的永磁悬浮技术研究多集中在电磁-永磁混合悬浮方向[5]，完全依靠永磁体实现悬浮的研究较少.张钢等[6]提出了一种全永磁悬浮磁轴承，依靠陀螺效应实现转子的被动悬浮.胡坤等[7]开发了一种应用于煤炭行业的永磁悬浮带式输送机，依靠永磁体之间的斥力式被动悬浮避免了传送带与托辊之间的摩擦.上述永磁被动悬浮易于实现，但同时抗外扰能力受到限制，难以保证系统的稳定性.

国内外很多学者开展了永磁主动悬浮技术的相关研究.根据磁力调节机制，永磁悬浮系统可分为变气隙式、变磁阻式、变磁源式3种.变气隙式永磁悬浮[8]系统通过直线作动器驱动磁体运动，调节磁体与悬浮目……