赵亚丽，孟 宇，赵雁冰，韩建新

（晋中学院α.材料科学与工程系；b.物理与电子工程系，山西 晋中 030619）

将入射光尽可能全部反射的光学多层膜称为高反膜.随着激光器的日趋普及，单层金属膜已不能满足使用需求，如高性能多光束干涉仪中的反射膜和激光谐振腔的反射膜，要求同时具备高反射率和低损失的特征.与单层金属薄膜相比，多介质反射薄膜具有高反射率与低吸收率，已成为高功率激光器谐振腔中反射膜的首选［1］.

在光学仪器研制进程中，光学薄膜的设计与制备占据越来越重要的地位.近几年，人们对各类高反膜的设计与研究从未间断过［2～4］.其中杨帆、路达在《多层介质高反膜理论设计与光学特性分析》中借助膜系设计软件提出了多介质高反膜的膜层厚度的误差控制的参考范围，具有实用性［5］. 严晖在《高反膜的高精度研制研究》中对多层薄膜的反射率变化建立在理论模型的基础上，对薄膜间的损失进行深入探讨，找到了降低膜内损失而提高膜层表面光学性能及品质的方法［6］.他们的研究对本课题的开展打下基础，同时，在研究过程中发现了一些缺陷：如理论上反射率随膜层层数的增添有望达到100%，事实上最高反射率会受到膜层吸收和散射损耗的影响.因此，急需研制一种反射性能优良的介质薄膜体系应用于光学基片上.

针对氦氖激光器中的谐振腔对反射率的要求，本论文旨在设计特定波长（632.8 nm）的单色光高反射光……