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面向纳米尺度金属互连线的蒙特卡洛模拟方法研究

2022-04-09胡远钊杜刚杨燚赵钰迪赵凯

北京大学学报（自然科学版） 2022年2期
关键词：蒙特卡洛尺度纳米

胡远钊 杜刚 杨燚 赵钰迪, 赵凯,,†

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