冯顺

无锡中微掩模电子有限公司 江苏 无锡 214000

前言

对于集成电路板生产的PCB与FPC流程来说，相关工艺操作的差异较小，不同工艺对纯化水的要求存在一定差异，但均对微生物控制存在较高要求。为优化集成电路板生产，纯化水储存与分配系统微生物的针对性控制必须得到重视。

1 微生物对集成电路的影响

在一般情况下，集成电路生产会涉及锡、镍金、电镀铜等元素，在表面处理蚀刻、PTH/黑孔、化学镀镍金等生产环节，对纯化水提出的不同供应标准必须得到重视，为满足生产需要，纯化水的微生物控制极为关键。根据线路板的生产过程，集成电路生产对纯化水的要求存在一定差异，每次药水的使用、每项生产工艺均具备自身特点，对纯化水品质也存在不同要求和标准。从微生物角度进行分析可以发现，集成电路受到的微生物影响可细分为五个方面：第一，如硅片表面黏附纯化水中的微生物，随同扩散源微生物将在扩散工艺中进入硅片，扩散的微生物会破坏P-N结构平整度，局部电阻均匀性也会受到影响，进而导致硅片漏电；第二，纯化水中的微生物会影响氧化层质量，如导致氧化层平整度破坏，针孔将随之形成，电荷密度也可能受到微生物影响，导致出现电学性能下降的氧化层；第三，微生物种类众多，不同微生物对集成电路使用效能往往会带来深远影响，如导致光刻胶出现针孔、腐蚀集成电路；第四，如蒸发合金环节使用的纯化水中存在大量微生物，将导致铝蒸不牢、断铝，硅片受到微生物进入影响也会出现电学参数下降，进而引发短路或断路；……