史正强，李 瑶，王水铭，姜帅琦

(北京精密机电控制设备研究所，北京 100076)

引言

目前电液伺服机构按组成形式可分为阀控电液伺服机构和电静压伺服机构。电静压伺服机构具有集成度高、效率高、可靠性高、功率重量比大等优点。与阀控电液伺服机构相比，电静压伺服机构由于取消了易发生污染堵塞故障的伺服阀，其本质可靠性显著提高。同时，由于消除了大体积油箱和连接导管，密封性能和使用维护性显著提高[1-6]。

伺服电机泵是电静压伺服机构的动力来源，和机构是集成一体的。驱动控制器对直流电进行调制，以驱动伺服电机泵旋转进而驱动机构运动。通常设计中，驱动控制器与伺服机构是分立的，若驱动控制器与伺服机构进行集成化设计会带来比较大的优势。功率电子器件与电机就近连接，一方面强电功率电路统一封装在伺服机构壳体内，大大减小强电电磁辐射干扰；另一方面避免了三相交流电缆对伺服机构阻抗特性影响，可简化设计抑制强电电磁传导干扰所需的阻抗匹配、滤波电路，以减小系统体积重量。取消驱动控制器与电机之间笨重的三相强电连接，一方面，显著减小三相电缆及连接器带来的重量增加；另一方面，减少强电连接触点数量、简化系统操作及维护；且利用伺服机构主体结构为功率电子器件散热，有利于实现驱动控制电路的小型化设计和系统整体减重。

随着功率半导体技术的进步，促进了驱动控制器与伺服电机的集成一体化设计，SiC，GaN等宽禁带半导体技术已趋向成熟，趋势更加显著[7]。……