马志斌

(武汉工程大学 材料科学与工程学院, 等离子体化学与新材料湖北省重点实验室, 武汉 430073)(黄冈师范学院 化学化工学院, 湖北 黄冈 438000)

武汉工程大学等离子体化学与新材料湖北省重点实验室长期致力于等离子体技术与CVD金刚石方面的研究。2001年至今，围绕高质量、大尺寸多晶和单晶金刚石制备的需要，开展微波等离子体技术与先进微波等离子体化学沉积装备的研究工作，开发出系列等离子体源和微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备，在MPCVD制备高质量、英寸级金刚石及高端CVD金刚石应用等方面取得重要进展，具体包括开发出具有双基片台结构的MPCVD反应腔，75 kW级915 MHz MPCVD装备，大尺寸单晶金刚石的二维扩大生长技术和纳米金刚石真空窗口的制备技术。团队成员主持完成了多项国家、省市级科研项目，包括国家自然科学基金、国家重大研究计划培育项目、湖北省自然科学基金、武汉市科技局晨光计划及若干横向项目等。等离子体化学与新材料湖北省重点实验室主要成员获得国家技术发明二等奖1项，湖北省科技进步二等奖1项。

金刚石具有硬度高、禁带宽、热导率高、载流子迁移率高、击穿电压高、光学透过性好及化学稳定性优异等特性，在精密机加工、热沉、光电子、量子计算及半导体等众多领域都有广泛且重要的应用。

在机加工、磨削、热沉等传统工业应用领域，金刚石相关产品的应用已非常成熟。金刚石涂层在高精密机械加工方向的应用研究结果表明：金刚石涂层可有效增强刀具的切削性能和延长刀具的使用寿命。……