董乐，宋芳

（201620 上海市 上海工程技术大学）

0 引言

在集成电路制造过程中，晶圆需要在各工位之间频繁传输，晶圆传输机器人保证了晶圆在各工位之间精确、快速、平稳地传输，因此晶圆传输机器人的研制对集成电路产业的发展至关重要[1-4]。在相关研究中，Chen[5]等通过加快晶圆定位过程，提高了晶圆传输效率；刘小磊[6]采用时间最优轨迹实现了晶圆传输机器人的快速平稳传输。由于真空中只能通过摩擦式晶圆传输机械手对晶圆进行传输，晶圆传输效率与摩擦力息息相关。申磊[7]提出了一种基于微摩擦矩阵的方法来提高晶圆传输过程中的加速度；蔡昌宗[8]在申磊的基础上提出了一种基于位姿调整的加速度算法，突破了摩擦力限制，大大提高了晶圆传输效率。Liu[9]等对晶圆传输过程中的传输速度与机架振动进行了分析，采用了轨迹规划方法对振动进行了抑制，提高了传输效率。由于常规的PD 控制算法在干扰存在情况下不能取得很好的控制效果，造成传输精度差，影响晶圆传输效率。任鹏飞[10]、贺军[11]等分别采用RBF 神经网络和模糊控制算法解决模型不确定性和负载变化对系统的影响；胡勇[12]通过设计鲁棒控制算法，减小传输过程中的干扰，实现了晶圆稳定高效传输；He[13]等建立了四自由度的晶圆传输机器人模型，并对其进行了解耦伺服控制，提高了晶圆传输机器人的动态跟踪性能。

本文在位姿调整算法的基础上，充分考虑最大加速度与位姿角的关系后，对晶圆传输轨迹进行重新规划，避免相对滑动。……