赵彩霞 张波 杨飞飞 孟秀峰

【摘 要】 本文针對PERC（钝化发射极背面接触）电池生产中，常压氧化制备氧化层热氧亲水性较差的问题，通过优化调整常压氧化工艺沉积温度，并经亲水性、EL（电致发光）、EQE（外量子效率）、电性能测试等测试表征，研究表明：常压条件下进行氧化层制备，较低的沉积温度下，沉积速率较大，其所沉积氧化层致密度高，钝化效果好。

【关键词】 常压;沉积温度;亲水性;外量子效率

【中图分类号】 TD32 【文献标识码】 A 【文章编号】 2096-4102（2021）04-0094-03

1引言

近年来，单晶PERC以其领先的技术优势，市场份额增加较快，为进一步提效和降本，研发了很多针对单晶PERC工艺的各项创新技术，其中发射极氧化层的制备尤为关键，但氧化层的制备主要利用低压氧化炉，直接增加电池端的制造成本，如能合理利用常压氧化炉制备氧化层，则可大幅降低设备投入成本，成为各大公司重点考虑的方向。

目前国内外主要利用低压氧化炉制备氧化层，其产品均匀性好、沉积速率高，而常压氧化炉存在沉积均匀性较差、沉积速率低的问题，且其调试过程比较复杂，难度较大，故而未经工业化生产推广应用。

本文利用常压氧化炉制备前表面氧化层，摒弃非主要影响因子，主要研究关键影响因素沉积温度，分别通过硅片表面亲水性、电致发光、外量子效率及电学性能等测试，分析不同温度影响下，所形成的氧化层的质量水平，从而确定最佳常压氧化炉生产工艺。

2试验方法

考虑到常压与低压设备与工艺条件的差异性，主要考虑常压下不同沉积温度对硅片表面亲水性的影响，分别通过亲水性、EL（电致发光）、EQE（外量子效率）、电性能测试分析其不同沉积温度下的表现。……