李雪方 武佳娜 郭丽 梁芳楠

【摘 要】 本文从单晶制绒酸碱清洗出发，结合扩散制结工艺，分析阐述制绒清洗效果对电池片性能与外观质量的影响。结果表明：碱清洗中KOH与H2O2在合适的配比下，绒面洁净度更高，绒面均匀性良好，电性能更优; 酸清洗液浓度应尽可能大，以保证硅片表面的二氧化硅层去除，同时保证HCL对金属离子的清洗效果;制绒清洗效果不良情况下，经过扩散制结后，PN结被破坏，外观呈现烧焦色斑不良，EL下呈现黑斑、黑点不良，导致电性能下降。

【关键词】 单晶PERC;酸碱清洗;PN结;电性能

【中图分类号】 TM914.4 【文献标识码】 A 【文章编号】 2096-4102（2021）04-0097-02

高效、低成本一直是光伏制造商追求的主要目标，单晶PERC已成为光伏行业的主流技术。清洗制绒是电池片制作的第一道工序。原料硅片经过多种加工工序后，表面残留有机械损伤层和各种有机化合物。如果原料硅片的表面质量达不到要求，那么剩余的工艺再精湛，也将无法获得高质量的成品电池片，硅片清洗的重要性即凸显出来。硅片的清洗方法有RCA清洗法、超声清洗法、机械刷片法等。随着光伏行业的发展，以RCA清洗理论为基础的各种化学清洗被开发并应用于规模化生产中。在单晶硅片制绒工艺中，常用H2O2为强氧化剂，选用OH-共同对硅片表面的有机污染物进行氧化—溶解—再氧化—再溶解的循环过程，最终达到污染物去除的目的，同时利用OH-对损伤层进行去除。制绒后的酸清洗一般选用HF与HCl的混合液，中和硅片上残留的碱液并去除金属离子。……