安跃军，陈嘉伟，邓文宇，王光玉，孙宝玉，孔祥玲，齐丽君，李明，4

(1.沈阳工业大学 电气工程学院，沈阳 110870；2.沈阳中北通磁科技股份有限公司技术中心，沈阳 110159； 3.中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，沈阳 110168；4.渤海大学 控制科学与工程学院，辽宁 锦州 121013)

0 引 言

近年来,受半导体制造、液晶注入、光伏器件、薄膜等新兴行业的不断涌现和化工、制药等传统行业的带动,真空应用的领域在不断地扩大，对真空泵的要求也越来越高[1-2]。为满足真空应用发展的需要，真空获得设备的发展正在进入一个新的时代，其特点是：降低泵的振动和噪声，提高长期运行的可靠性，降低能耗和运行成本，获得清洁、无油的真空环境等。传统的真空系统已经不能满足实际工况的要求，具有可靠性高、适应性强、无污染的真空干泵已经成为真空获得设备的一个重要的研究方向[3-4]。

在工业生产中，真空泵往往会与电机设计成一体结构，这样有利于真空系统中真空度的保证。而作为而真空干泵动力核心的屏蔽驱动电动机，其性能直接影响了真空干泵的过载能力、振动噪声、极限真空度以及能耗等级[5-6]。由于真空泵运行时工况比较复杂，电机在稳定运行阶段由于机械原因或系统故障，真空系统中的漏气速率有可能会出现瞬间增大的情况，当冲击载荷处于电机最大转矩范围内时，这种突然增加的负载可能会导致电机持续过载[7]，且随着电流增大，电机温升也会增高，极易使电机过热甚至损坏电机从而造成一定经济损失。……