陈淑江， 孙嘉珩

(山东大学 机械工程学院, 高效洁净机械制造教育部重点实验室，山东，济南 250061)

随着高精度产品对精密超精密机床加工精度要求的不断提升，静压主轴的回转精度亟待提高，固定节流的液体静压轴承已不能满足产品精度要求[1]. 主动节流技术是在传统可变节流器的基础上引入主动控制技术，可以主动改变润滑油流经节流器后的流量或压力，显著提高液体静压轴承的承载能力和油膜刚度，在工程上已得到证实[2-3].YANG等[4]研究了基于PID控制电液伺服阀的液体静压主轴的动态特性，结果表明采用PID控制的电液伺服阀能有效地提高轴承的动态特性和主轴的位置精度. PARK等[5]基于位移误差补偿原理，采用主动薄膜反馈阀实现了对导轨位移的主动控制，并取得了良好的效果. RENN等[6]基于主动控制的静压轴承，提出了一种由主动隔膜控制节流器的设计方案，通过伺服阀实现了静压轴承油膜间隙的精确闭环控制. 刘自超等[7]研究了压电致动薄膜反馈静压主轴的工作特性，结果表明压电致动薄膜反馈节流器能有效地提高静压主轴的轴承油膜刚度和主轴回转精度.胡灿等[8]研究发现主动节流技术相比于固定节流可以显著缩短轴心轨迹的过渡过程响应时间、减小轴颈偏心位移、降低主轴稳态回转误差.

上述主动控制节流技术通过调节节流器的节流特性，以优化轴承的油膜刚度和主轴的回转精度，取得了良好的效果，但……