袁锦科，黄彩清

（深圳赛意法微电子有限公司，广东 深圳 518038）

0 引言

聚焦离子束（Focus Ion Beam，FIB）是由离子源激发出来的离子束经过光阑过滤，静电磁场聚焦成直径为纳米级别的高能离子束并对样品表面进行轰击，从而达到对样品表面进行切割抛光、刻蚀等可选择性的微纳米精度加工的目的。配合气体注入系统，FIB 还可在样品表面进行沉积喷镀如Pt、W、SiO2等物质，对样品表面进行处理、保护或修饰[1]。FIB 系统是在普通的扫描电子显微镜的基础上加装了聚焦离子束和能谱分析组成的双束系统，该系统可对样品进行微纳米精度加工的同时，使用扫描电子显微镜（SEM）进行实时观察，并对可疑物质和结构进行能谱分析，是十分高效的加工、观察、分析系统，广泛应用在生命科学、材料科学、半导体制造等行业[2]。

MEMS 陀螺仪利用科里奥利力-旋转中的物体在有径向运动时所受的切向力，旋转中的陀螺仪可对各种直线运动产生各种反应[3]。惯性陀螺仪的原理见图1，MEMS 陀螺仪通常安装有2 个方向的可移动电容板，径向的电容板加振荡电压迫使物体做径向运动，横向的电容板测量由于科里奥利运动带来的电容变化。这样，MEMS 陀螺仪的悬浮块在驱动的作用下不停地来回做径向运动，从而模拟出科里奥利力不停地在横向来回的运动，并可在横向作与驱动力相差90°的微小振荡，这样科里奥利力好比角速度，由电容的变化量便可以计算出MEMS 陀螺仪的角速度[4]。

图1 MEMS 陀螺仪简化原理图Fig.1 Principle diagram of MEMS gyroscope

同理，MEMS 加速度计的微机械结构则由固定电极的定子和可移动电极的动子组成，可移动电极与悬浮质量块相连，悬浮质量块由弹簧悬挂着（图2）。……