吴滢滢

（厦门三安光电科技有限公司，福建 厦门 361009）

氧化铟锡（ITO）导电膜主要是一种氧化铟和氧化锡根据不同比例组成的复合薄膜，作为透明导电膜，它将金属的导电性与晶体的透光性有效地结合在一起，根据不同比例不同工艺的调试，在各种平板显示器件、太阳能电池、电致变色功能膜、红外遥感探测等领域，都获得广泛应用[1-2]。现在ITO薄膜的开发和应用发展速度很快，制备方法有很多，常见的制备方法有热喷涂法、电子束蒸镀膜法、磁控溅射镀膜法和化学气相沉积法等。以第三代半导体GaN为主的发光二极管由于光电转换效率高，目前白光可以实现120lm/W以上的光效，根据材料的带隙可以进行不同波长的调节，而且具有环保（无汞污染）、固体发光、体积小可以集成应用等特点，目前已经在照明、显示、农业生产和生物医疗等领域得到广泛应用。此类型发光器件在光效、使用寿命等方面均已有可观的进步，有希望成为新一代照明及发光器件主流。在发光二极管芯片制作工艺中，电子束蒸发镀膜法和磁控溅射法是最常用的两种方法，由于磁控溅射镀膜方法制作的ITO薄膜具有较优光电参数性能，目前已经有逐渐取代电子束蒸发镀膜法的趋势。

1 实验

利用MOCVD机台K456I，在两寸蓝宝石衬底上生长蓝光LED外延结构，分别生长GaN缓冲层，N型层n-GaN，5对量子阱InGaN/GaN，电子阻挡层AlGaN和P型层p-GaN。并进行发光二极管的芯片制作，在ITO镀膜前用有机清洗液去除外延片表面的油污等有机物，利用强酸溶液去除外延片表面的金属氧化物等。……