杨海文，王岚，张华，高翔宇，白亮，高文旭，马怡飞

（西安西北有色地址研究院，西安 710054）

由于电子元器件所用试剂中的杂质会对电子元器件性能、导电性及寿命等产生直接影响，因此需要用到纯度较高的双氧水，即“电子级双氧水”，又称为“电子级过氧化氢”。电子级双氧水是大规模集成电路生产工艺中所必须的电子化学原料，被广泛应用于半导体、超大集成电路装配和加工过程中的清洗和腐蚀等方面，是电子工业中一种十分重要的工艺化学品［1-3］。半导体硅材料纯度较高，但在加工过程中，因各种原因会留下污染物，这些污染物如果不及时清理，就容易影响性能、精准度，甚至报废。所以，半导体硅材料的清洗显得尤为重要。如果用强酸和强碱予以清洗，容易产生副产品，因此多选择用电子级双氧水予以清洗。

传统的过氧化氢中无机阴离子的测定常采用比浊法和比色法，但上述方法仅能对单一离子测定，无法对微量阴离子进行测定。采用离子色谱法则能够准确地对过氧化氢中阴离子进行测定，该方法在国内外已报道［4-6］，但过氧化氢对离子色谱柱会产生不可逆的损害，因此一定要进行样品前处理以除去过氧化氢。目前常用铂催化法进行样品前处理，但其缺点是操作步骤冗长、费时；而采用蒸发浓缩分解法处理样品则会导致微量阴离子的损失［7］；部分采用柱切换技术处理样品，但是该方法的操作难度较大［8］。

目前阴离子测定方法主要有重量法、比色法、分光光度法、离子选择电极法、离子色谱法等［9-12］。……