刘东静 王韶铭 杨平

1)(江苏大学材料科学与工程学院,镇江 212013)

2)(桂林电子科技大学机电工程学院,桂林 541004)

为了调控石墨烯/碳化硅异质界面传热特性,采用非平衡态分子动力学方法研究温度、尺寸、材料缺陷率对界面热导的影响,通过声子态密度和声子参与率对界面热导变化的原因进行阐述分析.研究表明:两种界面作用力下界面热导均随温度升高而增大,但共价键的异质界面热导要高于范德瓦耳斯作用力下的界面热导.异质界面的界面热导随着碳化硅层数的增加而降低,当层数从10 层增加到20 层时,界面热导下降30.5%;4 层时异质结构界面热导最低,分析认为中低频段更多的声子从局域进入离域模式.空位缺陷的引入可以有效地提高界面热导,随着碳化硅和石墨烯缺陷率的增加,界面热导均先升高再降低.300 K 时当碳化硅和石墨烯缺陷率分别为20%和35%时界面热导达到最大值,分析认为缺陷的引入会阻碍中频声子的热输运.研究结果揭示可以通过尺寸效应和空位缺陷来进行异质界面的改性研究,有利于第三代半导体微纳器件的设计和热管理.

1 引 言

随着微电子器件不断向高密度、微型化、功能化方向发展,器件内部的结构越来越复杂,器件界面结构及非连续性结构越来越多.功率器件在工作过程中经常会受到高温、高压、大电流、静电和强辐射等的冲击,因此功率器件的可靠性已经成为影响集成电路整体性能的关键问题[1,2].随……