侯小婷，李醒飞，刘 帆

(天津大学，精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津 300072)

0 引言

MHD微角振动传感器最早是由美国ATA公司开发研制的，并已有诸多产品。其研制的ARS-12传感器可实现1 Hz～1 kHz带宽内角振动信号的高精度拾取(等效噪声角0.1 μrad)，且已被作为磁流体动力学惯性基准(magnetohydrodynamics inertial reference unit，MIRU)的角振动敏感元件，成功应用到LLCD中实现系统视轴的对准[3]。国内对MHD微角振动传感器的研究起步较晚，华南理工大学[4]、上海交通大学[5]、天津大学[6]等单位均在开展相关研究。国内MHD微角振动传感器的研究主要围绕结构设计、微弱信号检测、误差分析等展开，目前还停留在样机研制阶段。在MHD微角振动传感器的研制过程中，需要对其频带(3 Hz～1 kHz)内的标度及线性度等指标进行测试，这就需要相应的角振动激励装置和角振动测量装置。然而，目前高频角振动激励装置大都实现的是恒定电压控制即恒定力矩控制，而非MHD角振动传感器测试所需的恒定角速率控制。

本文利用105-AVT角振动台和XL-80激光干涉仪搭建了一套适用于MHD微角振动传感器的自动测试标定系统。通过建立105-AVT角振动台模拟控制电压与输出角速度之间的关系，并集成到LabVIEW软件中，实现了25 Hz～1 kHz内0.004～0.12 rad/s量级的恒定角速率输出。测试系统能够对MHD微角振动传感器的频响特性及输出线性度进行自动测试。

1 MHD微角振动传感器原理

MHD微角振动传感器原理如图1所示，导电流体灌装于与壳体固连的环形通道内，通道的上下表面绝缘，内外表面导电，且置于磁场B中。……