武汉京东方光电科技有限公司 胡 鹏 王晓峰 寇建龙 罗天月 刘凯祥 王文浩 尤 雷 付正德 孙 慧

星型破损是TFT-LCD行业的摩擦配向工艺（Rubbing）顽固不良，特别在10.5代线人眼检查检出率＜10%，成本Loss极高。由于不良缺陷在0.5～10mm之间，基板图案复杂干扰点多，常规图像面检查，过检率高，达不到使用目的。本文通过特殊的粗/精定位图像二值化处理方法，对玻璃基板微观缺陷的密集的显示区进行提取，将缺陷检出率提高到99.7%，过检率降低到平均2.4%。首次将AOI光学检查方案成功导入Rubbing微观缺陷捕捉领域，同时对缺陷进行判断分类，优化了设备稼动，误检引起的停机时间由2.3%减少到0.5%。

TFT-LCD工艺中，液晶分子需要在配向膜上按照一定方向的沟槽与分子间作用力形成定向排列。在基板上摩擦取向(Rubbing)是目前主流的配向技术，其通过真空压力将玻璃基板吸附在高度水平的陶瓷平台上，然后使用包覆着特殊毛向摩擦布的辊轮，在高度旋转条件下，布毛剐蹭配向膜，而形成均匀取向的沟槽。

Rubbing工艺要求玻璃基板贴合高度水平的平台。由于基板与硬质陶瓷平台的真空吸附，会出现玻璃背面的黏着硬物在真空压力下挤压玻璃基板，形成玻璃局部裂纹。相对于10m2大小基板，通过人眼检查＜10mm星型裂纹，人工拦截率非常低，容易漏检造成批量性破损，导入光学检测设备捕捉微观缺陷是目前必经之路。

本文就10.5代线，Rubbing工艺AOI光学微观缺陷检测系统进行研究，首次解决了目前限制AOI系统在LCD工艺玻璃基板微观缺陷捕捉领域的，严重过检/漏检的问题。……