王鸿睿 梁柱 段国栋 马炎

摘要：伴随着科学技术的不断发展，微系统在国防科技中的应用范围也在扩大，能在打造结构智能化应用体系的同时，实现元件轻量化和小型化发展目标，从而提高航空控制工作的整体效益。本文分析了MEMS技术发展现状，并对其未来发展趋势予以讨论。

关键词：MEMS技术;发展现状;未来趋势

MEMS技术是新兴前沿学科，被广泛应用在航天航空、生物技术等领域内，凭借其高产低能耗的特点，能在优化系统运行可靠性的同时，维持综合智能管理效率，促进经济效益和安全效益的和谐统一。

一、MEMS技术发展现状

MEMS技术是借助不同技术元素和环节的融合，能建构更加完整的独立信息获取和处理模式，并匹配命令执行环节，促进航空航天领域内导弹等设施微小化和智能化发展进步，尤其是在加速导弹系统性能处理方面，具有重要的实践应用价值[1]。

（一）感知和控制

目前，MEMS技术能实现微感知和微控制并行的目标，其中，微感知就是指借助微传感器能对环境参数予以集中的信息感知和汇总，包括流体压力、环境温度/湿度、流体速度等。而对应的微控制就是指在获取感知信息后，能借助微制动设备对喷射、执行等基础环节予以合理性控制，从而维持控制任务的流畅性。MEMS技术中能实现微传感和微控制的并行，及时了解对应元件的运行状态，并配合实时性监控环节，提升分析效率。

（二）微流动处理

在MEMS技术应用过程中，微流体力学是非常关键的理论内容，是极小量流体器件原理、设计以及制作等工程学科分析的关键。……