向薇 余雯雯 崔英颖 陈丽静

摘要：MEMS传感器和智能传感器可以被称为新时代传感器的典型代表，在智能化以及集成化方面体现出独特的优势。本文利用CNABS和DWPI专利数据库，对1989-2020年期间MEMS物位传感器专利布局情况进行了研究，分析了专利申请趋势、申请人分布及技术领域分布等情况，有利于从业人员了解MEMS物位传感器的发展概况，分析未来发展方向，并为MEMS传感器的选用提供借鉴和依据。

关键词：MEMS 物位 专利

引言

MEMS是融合微电子和微机械加工技术，将微型传感器和微型执行器以及信息处理单元等集成于一体并实现特定功能的微型智能系统[1]。MEMS传感器以其优异的性能，如体积小、重量轻、成本低、功耗低、灵敏度高、可批量化生产、易于集成和实现智能化等特点，逐步取代传统机械传感器而占据主导地位[2]。随着近年来MEMS技术的普及，使得MEMS物位传感技术得到了应用与发展。

专利是人类科学技术成果的重要体现，通过对专利数据的分析，可以明确技术发展现状和发展脉络及其企业关注的研发重点和技术发展情况，为创新主体进行更好的专利布局指明方向[3]。

1专利数据处理和分析

1.1数据库选择

为了能全面准确地反应出MEMS物位传感器技术的发展现状及其发展趋势，本文以中文库CNABS和外文库DWPI为文献数据来源，进行全面统计和分析。

1.2 检索策略

针对中文数据库和外文数据库分别在国家知识产权局开发的“S检索系统”中单独进行了全面检索，检索大致分为初步检索和结果去噪两个步骤。……