王亚冰， 邵尚坤， 孙学鹏， 张晓芸， 李惠泉， 孙天希*

1. 北京师范大学核科学与技术学院射线束技术教育部重点实验室， 北京 100875 2. 北京市辐射中心， 北京 100875

引 言

X射线光源的应用和发展深刻影响着X射线光谱学的实践与进步， X射线光源的焦斑尺寸(光源发光区域大小)和焦深(光源发光区域和铍窗距离)是对X射线光谱学， 尤其是微区X射线衍射与荧光分析等领域十分重要的参数[1-2]。 如何高效而准确的表征这些参数对于X射线光源的应用和发展至关重要。 测量光源焦斑尺寸的传统方法是小孔成像法[3]。 该方法对于焦斑尺寸较大的光源是相对准确而高效的， 但由于小孔效应的影响， 测量时要保证小孔直径小于焦斑尺寸， 同时为了提高测量精度， 小孔的直径应该越小越好[4]。 这对于焦斑尺寸在微米级或更小的微焦斑X射线光源而言， 小孔成像方法较难实现。 因为要制造保证X射线只从孔洞处通过， 且直径尺寸小于焦斑尺寸的小孔是十分困难的[5]。 传统的测量焦深的方法是小孔扫描法[6]。 由于该方法是从小孔成像测量焦斑尺寸的方法衍生而来， 其同样要求小孔直径应小于焦斑尺寸。 为了适应微焦斑光源测量的需要， 有人提出利用多毛细管准直器测量光源焦斑尺寸的方法。 该方法可以有效地对微焦斑光源焦斑尺寸进行测量， 但多毛细管准直器结构相对复杂， 制作误差小的器件难度较大， 且该方法测量焦深存在较大困难[5，7]。

本文提出一种基于锥形单玻璃管X射线聚焦镜(TGMXC)同时测量X射线光源焦斑尺寸与焦深的方法。……