冷长志

摘要：由于各种难加工材料和日益严峻的加工条件，近几十年来，物理气相沉积涂层技术越来越受到人们的重视。结合物理气相沉积技术的工业应用现状，从物理气相沉积涂层设备的角度综述了物理气相沉积涂层刀具的主要技术，包括阴极电弧蒸发技术和磁控溅射技术及其混合技术，并介绍了影响涂层附着强度的等离子体刻蚀技术。

关键词：物理气相沉积;镀膜机器;关键零部件

中图分类号：TH122.5                                    文献标识码：A                                  文章编号：1674-957X（2021）05-0094-02

1  物理气相沉积方法概述

1.1 技术发展背景

与铸造、锻造等传统成形技术形成的金属材料相比，涂层零件在后续加工过程中具有一些明显的难加工特性。首先，由于涂层和基体之间的力学性能不同，加工厚涂层面临着很大的挑战。在沉积过程中，涂层与基体之间的化学成分不同会导致稀释。此外，机械性能的差异，特别是涂层和基体之间的屈服强度，可能导致不连续的塑性变形/应变在随后的机械加工过程中。一般来说，在加工常规成形工件时，根据加工余量来确定未切屑厚度的选择，以满足几何/尺寸精度的要求。由于机械加工引起的亚表层应力，结果改变了其表面的完整性。相反，厚涂层后续加工中未切削的切屑厚度必须严格限制在浅范围内（换句话说，必须薄于涂层厚度），而涂层厚度通常与涂层厚度相当。当用小的未切削切屑厚度（远小于涂层厚度）加工时，塑性变形只出现在涂层表面下。在这种情况下，涂层后续加工的力学行为相当于用与涂层相同的材料加工常规成形的工件。……