卞丽情

（广州应用科技学院，广州 511370）

0 引言

传感器是现代科学技术发展进程中最具有代表性的成就之一，与通信技术和计算机技术地位相同。传感器应用范围广泛，几乎可以应用在所有领域和行业，如在航空航天领域，加速度传感器、陀螺仪等被用于惯性导航、空间姿态测定；在生物医疗领域，生物传感器、流体传感器等被用于临床化验、病理诊断；在环境监测领域，温湿度传感器、气体传感器等用于监测周围环境的变化情况，判断是否发生污染或者恶劣天气。为满足更为精细化的监测工作要求，传感器逐渐向着更为智能化、自动化和微型化方向发展。该技术主要有三大部分组成，即微电路、微电机、微探测器。其中微探测器，也就是微传感器，是微型化发展进程中最常应用的领域，其特征是敏感结构的尺寸非常微小，尺寸仅在在μm级或者亚μm级，相较于与一般传感器，体积只有几十分之一甚至几百分之一[1]。基于微传感器用途不同，类型也不同，如电容式MEMS差压压力传感器、磁场测量微传感器、霍尔式磁性液体微压差传感器等等。基于此，本研究选取一种常用的自动化压力测量传感器作为对象，进行面向微机械电子技术的自动化测量传感器设计研究。该设计分为两部分，即理论设计和应用测试部分。前者主要包含敏感膜片设计、转换元件设计、信号调节转换电路设计、传感器接口电路设计以及工作程序设计等几个模块。后者按照前者设计方案进行实体传感器制作，并测试使用效果是否达到预期，判断是否能够投入使用。……