徐奇伟，龙胜，程智浩，张艺璇，支钞

(1.重庆大学 输配电装备及系统安全与新技术国家重点实验室，重庆 400044；2.中国工程物理研究院 电子工程研究所，四川 绵阳 621999)

0 引 言

微机电系统(micro electro-mechanical systems,MEMS)主要将电、光、热等多种形式的能量转换成机械能输出，具有微型化、智能化、低能耗、多用途、高集成度和适于大批量制造等优点，近年来，在工业精密控制、医疗等领域应用广泛[1-4]。其中，微驱动器是微机电系统中的动力来源，将直线电机及其控制系统作为微驱动器，可以实现微米级高精确度机械运动，特别适合应用在具有空间限制要求的精密控制领域。

目前，针对微直线电机在微驱动器领域的研究，主要集中在不同结构设计和优化等方面。许孝卓等人提出了一种Halbach交替极永磁同步微直线电机，基于优化磁极尺寸提高电磁推力，但其电磁推力波动较大[5]。张铁民提出了一种基于压电式微直线电机的驱动电源方案，该电机能实现微驱动以及精密定位，具有结构简单、可靠性高、体积小等特点[6]。Alireza Safa提出了一种线性压电陶瓷微直线电机位置控制策略，采用自适应滑模策略设计鲁棒控制器，在消除颤动影响的同时，提高了响应速度并实现微纳级定位精确度[7]。

针对微直线电机位置检测的研究，李炳然等提出了一种三轴霍尔传感器检测直线电机动子磁场，但传感器安装参数对位置解算误差影响较大[8]。王辉等提出了根据高速相机相位频谱估算动子位置，但受光线影响大且集成度较低[9]。……