葛道晗，倪 超，丁 杰，张立强，祝世宁

(1.江苏大学微纳米科学技术中心，镇江 212013； 2.南京大学固体微结构物理国家重点实验室，南京 210093)

0 引 言

20世纪60年代，Updike等[1]将葡萄糖氧化酶固定化膜与氧电极组装，标志着第一种生物传感器的诞生，此后人们相继制成了各类生物传感器，例如：电化学[2-3]、机械[4-5]、核磁共振[6-7]、光学生物传感器[8-9]等。其中光学生物传感器由于其具有高灵敏度、低检测限和多重监测的特点，被广泛应用于生物、化学、医疗等领域的检测。光学生物传感器将表面等离子共振(surface plasma resonance, SPR)或表面增强拉曼散射(surface-enhanced Raman scattering, SERS)与传统生物传感器相结合来获得较强的检测能力。人们普遍认为，SPR或SERS的性能突破的关键点在于构建具有高灵敏度和稳定性的检测平台。

近年来，多孔硅在生物传感[10-11]、微电子[12]、光学器件[13-14]等领域备受关注。20世纪60年代，Uhlir等[15]在利用氢氟酸(HF)对硅晶片进行抛光时偶然发现了多孔硅结构，并研究了其特殊的物理性质，这些性质是由其微观形貌下的孔隙和孔内部结构决定的。至此长达几十年的时间里，多孔硅一直被当作微电子的绝缘材料来使用。过去人们对于能够将多孔硅作为光学器件的原因间接归因于它在微观尺度下的量子效应，1991年Nature刊文[16]报道了多孔硅强光致发光特性，直接证明了多孔硅微观尺度下的结构表现出高效的光致发光的特性。此后多孔硅的一些其他性质接连被发现，例如生物可降解性[17]、生物可相容性[18]等，在医疗和生物等诸多领域[19]被广泛应用。……