韩志慧

（天马显示科技有限公司，福建厦门，361101）

0 引言

近年来OLED和柔性显示引领的高分辨率移动显示革命对新的显示检测技术提出了更高的要求。新一代高像素密度OLED显示要求在亚微米分辨率检测区域实现快速、可靠、无损的全基板在线缺陷检测[1–2]。对于新兴柔性或者透明显示，透明特性使传统光学检测能力面临挑战。面板像素尺寸越来越小，分辨率越来越高，自动光学检测（AOI）在小像素TFT关键缺陷检测和一些受限测试要求中遇到性能不足问题，因为光学光源波长通常为几百纳米，当缺陷达到光源波长尺度时，衍射效应会限制可分辨最小特征[3]。

G6LTPS项目导入的应用材料线上电子显微镜系统，可以在不损伤面板的情况下，以行业最高分辨率和检测效率进行检测。独特的低电子技术经证明[4]，当加速电压≤1KV时，不会对有机层或TFT器件造成影响。该线上电子显微镜，加速电压工作范围200V ~ 15kV，一般测试时工作电压200V ~1KV。测试缺陷的成分时需要>1KV的工作电压，但对TFT器件的影响仅限测试点所属panel，对于玻璃大板其他panel并没有影响，并不影响整个玻璃大板投入后段生产。该系统的电子束分辨率10nm，远高于人类的眼睛可以分辨出的最高分辨率，足以应对VR/AR显示技术路线图的要求。

1 线上电子显微镜系统的构成及其工作原理

如图1所示，线上电子显微镜系统由Loadlock交换腔（含有两层，上层进片，下层排片）和CHA测试腔（单层）组成。可自动定位由其他检测工具报告的缺陷和为监控工艺选择的感兴趣区域。该……