解瑞珍，褚恩义，戴旭涵，苏谦，薛艳，任小明，刘兰，刘卫

(1.陕西应用物理化学研究所 应用物理化学重点实验室，陕西 西安 710061；2.上海交通大学 微米/纳米加工技术国家级重点实验室，上海 200240)

0 引言

随着现代武器装备对弹药性能以及毁伤效能的提高，要求在现有弹药的固有体积中增大主装药量并压缩引信的空间[1]。另外，城市反恐、单兵作战用微型弹药的发展也对微小型引信技术提出了迫切需求。微机电系统(MEMS)技术提供了降低质量与体积的优势[2-3]，适用于引信火工品的微小型化、轻量化设计。

2015—2019年美国引信年会连续报道了MEMS安全保险装置技术的研究工作，公开了海军、陆军设计的两种微小型爆炸序列结构、工艺、功能和性能[2-4]，爆炸序列装药优化、可靠性评估，以及MEMS安全保险装置温湿度、振动、跌落等环境适应性研究[5-7]。从上述成果中可以看出，一方面MEMS技术的引入有效减少了安全保险装置的体积，另一方面火工品安全保险机构一体化设计已成为引信火工技术的发展趋势之一。国内针对火工品、安全保险机构微小型化设计，先后开展了微桥膜换能元[8-9]、平面微起爆器[10-12]、微纳结构含能材料[13-15]、MEMS安全保险机构[16]等技术的研究[8-15]，而将平面微起爆器、MEMS安全保险机构等集成为微起爆序列的设计及传爆、隔爆性能的研究工作还鲜有报道。

从现有文献资料中可以看出，基于MEMS工艺技术的安全保险机构结构层即用于隔爆的滑块厚度越小，工艺上越容易实现，越有利于微小型化设计。……