张健

（宿迁泽达职业技术学院，江苏 宿迁 223800）

随着光电子学等技术的发展，高精密的光电子系统不断涌现，对精密加工技术提出了更高的要求。超精密加工精度随着加工技术进步不断提升，现代社会中超精密加工技术是先进制造技术的重要部分，提高加工精度动因是提高产品质量稳定性，促进产品小型化，提高装配生产效率。在激光器件及大规模集成电路等领域，功能晶体材料广泛应用，在材料科学领域中占有重要地位。激光系统的应用中，对晶体表面完整性提出了严格的要求，要求较低表面粗糙度，无破坏层的超光滑表面。要满足现代电子器件精度要求，必须应用精密加工技术。目前强光源研发成为世界性趋势，由于在光信息存储、光显示照明等方面具有广泛应用前景，对非线性光学晶体需求加强。我国晶体超精密加工方面落后，研究精密加工技术应用具有重要意义。

1 精密加工技术的发展

精密加工技术属于先进制造技术领域，精密工程是现代制造技术的前沿，超精密加工技术是新兴综合加工技术，使目前加工精度达到了纳米级。精密加工技术是先进制造技术的重要部分，是衡量国家工业水平的重要标志。超精密加工手段有超光滑表面抛光等，超光滑表面是表面粗糙度均方根值小于1nm的表面，具有亚表面无破坏良好特征，加工对象多为玻璃陶瓷等硬脆性材料。超精密加工技术向更高精度、微型化方向发展。……