李峰西，索海生，邢振宏，高凯，陈中莉

（济南森峰科技有限公司，山东 济南 250101）

自激光加工技术出现以来，以其加工的精度高、无污染以及效率高等特点，应用越来越广泛，发展也越来越迅速。由于激光的空间适应性和时间适应性非常好，且非常适合不同材质、形状和大小的各种类型材料，非常适合自动化加工处理。尤其是高速激光微加工技术与数控技术相结合，是现代高端电子制造业加工的主要方向。

1 高速激光微加工概述

高速激光微加工通常需要旋转激光束以切割和加工超过激光束直径的孔，该工艺一般通过高速旋转的转镜实现。转镜使用旋转的导光结构以入射激光束为轴的通过平面透镜旋转，实现反射激光束切割加工的目的，通过调整平面透镜与入射激光束的角度即可实现不同孔径加工的目的。该种加工方式的结构和原理较为简单，且激光的能量损失小，具有一定的加工优势。但是由于在加工时，反射激光束不是以直角射入工件，而是有一定的倾斜角，因此加工后的孔径内表面为锥形面而非直孔，因此难以满足实际需求，因此需要对其进行一定的优化。也可以通过使用楔形棱镜的方式代替平面镜，对入射激光束进行反射，该工艺可以一定程度上改善锥形孔问题，但并不能完全避免。因此，在新阶段，也有人应用旋转组合棱镜进行改进。这种结构是通过将两个楔形棱镜以斜面平行放置的方式对入射激光以轴线进行反射，该结构可以将激光束以直角射入加工件，因此避免了锥形孔的问题。……