高文政，石 洪，汤其富

（1.连云港杰瑞电子有限公司，江苏 连云港 222061；2.重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心，重庆 400054）

基于PCB工艺的平面磁场式传感器属于电磁感应类传感器［1］，具有较强的抗干扰、抗冲击和振动能力，不惧油污、水汽、粉尘、盐雾等影响。与传统的电磁感应式传感器等一样，如旋转变压器、感应同步器、LVDT、RVDT、电涡流传感器［2－7］，该类传感器可应用于工业、航空航天、国防等工作环境比较恶劣的领域。由于PCB工艺在角度传感器中的应用优势，PCB型平面式角度和直线传感器得到迅速发展［8－16］。例如：以色列Netzer公司的角度传感器和文献［8］描述的传感器基于电容传感技术设计，采用PCB工艺制造定子和转子的传感电容极片；英国Zettlex公司的IncOder系列角度和直线传感器，基于电磁感应原理设计，采用PCB工艺制造定子／直线尺和转子／测头的平面线圈；瑞士Posic公司的平面式角度和直线传感器，以及文献［10］描述的传感器，也是基于电磁感应原理设计，采用PCB工艺制造角度传感器的转子和直线传感器的动尺；中国广东盈动高科自动化有限公司的无轴承角度传感器，采用的传感原理与Netzer公司产品类似，也采用PCB工艺制造定子和转子的传感电容极片。

PCB技术和工艺可以实现复杂线圈和极片的制造［8，11］，为厚度小的平面式传感器提供了便利，所以近年来无人机、机器人、安防设备、伺服电机等大量采用基于PCB工艺的传感器。不过，采用PCB工艺的电容式和电磁感应式传感器在测量精度方面，尤其是电磁感应式传感器，与光电式传感器有一定差距。……