伍飞高，李 睿，吕凤珍，刘富青

（合肥鑫晟光电科技有限公司MDL 技术部，安徽合肥 230012）

0 引言

随着现代信息技术的快速发展，液晶面板有功耗低、辐射低、色彩饱和度好、轻薄等优点，使得消费者对液晶显示屏的需求量越来越大[1]。现在液晶显示器和液晶电视已经走进了千家万户，而且显示尺寸越来越大，价格却不断降低[2]。这同液晶面板厂家不断投资高世代生产线、增大基板尺寸和应用新技术来降低成本是分不开的[3]。显示器未来需要集成的功能将不断增多，这是作为物联网终端信息出入口的必然[4]。

随着显示技术的不断发展，TFT-LCD（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器）液晶显示技术取得了重大关键技术的突破，已进入快速成长时期[5]。TFT-LCD技术的日趋成熟，产品质量概念不断演进，用户审美不断提高。窄边框、无边框产品（Boardless）已经走进人们的日常生活。无边框较有边框产品在美观以及产品尺寸方面有较大的优势。

可以预见，在不久的将来，各大厂商必将会推出各自的窄边框或无边框显示产品[6]。无边框产品意味着玻璃边缘暴露于可视范围内，因此，对LCD 切割质量和产品良率要求很高。

切割质量取决于对切割产生的凹坑（Chip）、横向损伤（Lateral Crack）、毛刺（Burr）、裂纹等缺陷的严格管控。因此，为保证良好切割效果，确保切割工艺过程至关重要。为了满足窄边框的要求，现在各面板厂大量开发GOA 产品（原Gate 边COF删除，该部分驱动电路IC 集成在玻璃边缘），GOA 产品的三边为齐边（TFT 与CF 平齐切割），一边是阶梯边（TFT 尺寸长于CF尺寸），由于齐边切割工艺比较成熟，缺陷很少，工艺难点主要集中于阶梯边切割。……