余 震，余静娴，张晨阳

(1. 武汉科技大学冶金装备及其控制教育部重点实验室，湖北 武汉，430081；2. 武汉科技大学机械传动与制造工程湖北省重点实验室，湖北 武汉，430081)

近年来，随着对制造精度要求的不断提升，精密表面的微形貌测量技术至关重要[1]。目前，常用的微结构表面形貌测量方法包括接触式和非接触式两种。非接触式测量技术(如光学扫描方法)具有高速、无损等优点，但该技术不仅受被测物体表面反射率的限制，还存在扫描速度慢、设备成本高、测量效率低等问题。接触式测量技术精度和可靠性相对较高，此外，还可以通过更换测头来实现不同材料微结构表面的测量。

聚偏氟乙烯(PVDF)压电材料除了具有良好的耐化学腐蚀性、耐高温性和压电性能外，还具有质轻、柔性好等特点，可以根据需要加工成各种形状、厚度的元件，有望应用于微结构表面形貌感测，其优越性[2-3]具体表现在：①由PVDF制成的薄膜质量轻、柔性极好，能以大面积阵列的形式贴附于被测结构表面，对于不规则表面也能保证充分接触；②PVDF由于具有优异的压电性能和介电性能，灵敏度相对较高，频带响应范围宽(0～500 Hz)；③ PVDF具有良好的力学性能，在进行应力检测时，误差相对较小，并且适用于动态检测，对应力和应变响应迅速。

近年来，关于PVDF压电薄膜在结构监测方面的应用已有大量报道，如Sharma等[2]等采用静电纺丝技术制备了一种高密度、密集排列的核-壳结构PVDF纳米纤维，可以应用于血管内的压力监测；……